潔淨室過濾器檢漏儀法檢漏的一般規定

（1）被檢漏過濾器必須已測過風量，在設計風速的80%～120%脫水機之間運行。

（2）在同一送風面上安有多台過濾器時，在結構上允許的情況下，宜用每次只暴露1台過濾器的方法進行測定。

（3）當幾台或全部過濾器必須同時暴露在氣溶膠中時，為了對所有過濾器造成均勻混合，宜在風機吸入端或這些過濾器前方支干管中引入檢漏用氣溶膠，立即在受檢過濾器的正前方測定上風側濃度。

（4）對於高效過濾器，當檢漏儀表為對數刻度時，上過濾設備風側氣溶膠濃度應超過儀表最小刻度的104倍；當檢漏儀表為線性刻度時，上風側氣溶膠濃度需達到80～100μg/L。檢漏儀表應具有0。001～100μg/L的測量範圍。

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